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申请/专利权人：朗姆研究公司
申请日：2023-12-08
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118162297A
主分类号：B05B1/00
分类号：B05B1/00
优先权：["20221209 US 63/386,882","20230620 US 63/509,227"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.11#公开
摘要：公开了用于半导体加工工具喷淋头或气体分配器的螺纹喷嘴插件。
主权项：1.一种装置，其包括：头部，其中所述头部具有第一表面和平行于所述第一表面的第二表面，并且所述第二表面具有与所述第一表面的外周的尺寸和形状基本相同的外周；从所述第二表面延伸出的轴部，其中：所述轴部的第一子部分沿其长度方向有螺纹并且具有小于所述第二表面的最大尺寸的直径，以及气体分配孔穿过所述头部和所述轴部并且沿垂直于所述第二表面的方向延伸。
全文数据：
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