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申请/专利权人：清软微视(杭州)科技有限公司
申请日：2024-01-31
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118173463A
主分类号：H01L21/66
分类号：H01L21/66
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.11#公开
摘要：本发明公开了一种光学检测平台，光学检测平台包括：框架；底板，底板位于框架的上方，底板与框架之间通过减震器连接；载台，载台设于底板的上表面上且用于承载待检测的晶圆；光路系统，光路系统设于底板的上表面上且用于检测晶圆表面缺陷。根据本发明的光学检测平台，通过在底板和框架之间设有减震器，能够将底板和框架固定并间隔开，降低外界环境的震动和自身运动产生的震动对光学检测平台造成的影响，消化吸收机械动能，减少震动干扰，保障了光学检测平台的稳定性，进而提高光学检测平台的检测精度和检测效果。
主权项：1.一种光学检测平台，其特征在于，包括：框架1；底板2，所述底板2位于所述框架1的上方，所述底板2与所述框架1之间通过减震器11连接；载台3，所述载台3设于所述底板2的上表面上且用于承载待检测的晶圆；光路系统4，所述光路系统4设于所述底板2的上表面上且用于检测晶圆表面缺陷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清软微视(杭州)科技有限公司 光学检测平台
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