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申请/专利权人：北方工业大学
申请日：2022-07-21
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN115218823B
主分类号：G01B11/25
分类号：G01B11/25
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权;2022.11.08#实质审查的生效;2022.10.21#公开
摘要：本发明提供了一种测量干涉图像相位分布的五步相移信号处理光路，包括四分之一波片、透射率为33％的部分反射镜、透射率均为50％的四个半透半反镜、五个偏振片及五个CCD探测器。本发明不需要旋转器件就可在同一时刻获得5个叠加了相等间隔相移的干涉图像，避免了旋转器件法导致的测量时间较长以及由此带来的测量误差，使解算被测物体相位信息的过程更加快速、精度更高。
主权项：1.一种测量干涉图像相位分布的五步相移信号处理光路，包括四分之一波片、若干偏振片及若干CCD探测器，其特征在于：还包括部分反射镜及若干半透半反镜；初始入射光束经所述四分之一波片后入射至所述部分反射镜，经部分反射镜后的出射光束分别入射至第一半透半反镜和第二半透半反镜；经第二半透半反镜后的一路出射光束经第一偏振片后其干涉信号被第一CCD探测器接收，另一路出射光束经第二偏振片后其干涉信号被第二CCD探测器接收；经第一半透半反镜后的两路出射光束分别入射至第三半透半反镜和第四半透半反镜；经第三半透半反镜后的一路出射光束经第三偏振片后其干涉信号被第三CCD探测器接收，另一路出射光束经第四偏振片后其干涉信号被第四CCD探测器接收；经第四半透半反镜后的一路出射光束经第五偏振片后其干涉信号被第五CCD探测器接收，另一路出射光束弃用；其中，所述第一偏振片、第二偏振片、第三偏振片、第四偏振片、第五偏振片的透光轴方位角各不相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方工业大学 一种测量干涉图像相位分布的五步相移信号处理光路
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