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申请/专利权人：尚越光电科技股份有限公司
摘要：本发明涉及一种CIGS共蒸设备的高稳定传动系统，解决CIGS共蒸设备基底卷材的传送不稳定会极大影响CIGS吸收层膜层成型的均匀性的问题。本系统包括真空腔，真空腔内设置放卷轴、收卷轴以及若干输送辊，放卷轴和收卷轴之间依次沿各输送辊输送基底卷材，基底卷材的下方设置蒸发源，靠放卷轴一端的其中一个输送辊为设有转速传感器的转速辊，靠近收卷轴一端的其中一个输送辊为张紧辊，所述放卷轴连接设置可独立控制的放卷伺服电机，所述收卷轴连接设置可独立调节的收卷伺服电机。本发明通过放卷端的速度、张力双控制，减少基底卷材波动；输送辊采用腰型设计自动纠偏；不同阶段的不同速度和张力控制，减少基底卷材的浪费，并确保稳定状态时波动控制在设计范围内。
主权项：1.一种CIGS共蒸设备的高稳定传动系统，包括真空腔，真空腔内设置放卷轴、收卷轴以及若干输送辊，放卷轴和收卷轴之间依次沿各输送辊输送基底卷材，基底卷材的下方设置蒸发源，其特征在于：靠放卷轴一端的其中一个输送辊为设有转速传感器的转速辊，靠近收卷轴一端的其中一个输送辊为张紧辊，所述放卷轴连接设置可独立控制的放卷伺服电机，所述收卷轴连接设置可独立调节的收卷伺服电机；所述张紧辊的两端分别设置独立的张力传感器；所述输送辊为中间直径小、两端直径大的腰型辊，输送辊中间为小圆柱面、两端均为大圆柱面，小圆柱面和大圆柱面之间采用锥面过渡，所述大圆柱面和小圆柱面的外径差值不超过大圆柱面外径的0.5%；输送辊采用中间小、两端大的腰型结构，配合张紧辊两端独立的张力传感器，当基底卷材向输送辊一侧跑偏，由于输送辊为锥形，基底卷材两侧的张紧力会产生差异，且张紧力通过锥面对基底卷材形成向中间的推力，自行纠偏，而且通过张力信号的监控，控制系统可记录跑偏信息和纠偏记录以及对应的基底卷材位置，方便后续质检时定位重点检查。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 尚越光电科技股份有限公司 一种CIGS共蒸设备的高稳定传动系统
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