申请/专利权人：深圳源明杰科技股份有限公司

申请日：2023-07-04

公开（公告）日：2024-06-11

公开（公告）号：CN116978819B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.11#授权;2023.11.17#实质审查的生效;2023.10.31#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆贴片机构以及晶圆贴片装置，包括上下相对设置的第一顶压件以及第二顶压件，所述第一顶压件与所述第二顶压件之间设有间隙，所述间隙用于供晶圆与基材进行放置；其中所述第二顶压件用于与所述晶圆贴片装置固定连接；所述第一顶压件远离所述第二顶压件的一侧连接有顶压控制装置，在所述顶压控制装置的驱动作用下，所述第一顶压件朝所述第二顶压件发生靠近运动，以将所述晶圆与所述基材相互贴合；其中所述顶压控制装置采用充气式控制。通过本发明实现避免因长期贴片而导致压力控制精度降低，同时能有效提高压力控制精度。

主权项：1.一种晶圆贴片机构，应用于晶圆贴片装置；其特征在于，包括上下相对设置的第一顶压件以及第二顶压件，所述第一顶压件与所述第二顶压件之间设有间隙，所述间隙用于供晶圆与基材进行放置；其中所述第二顶压件用于与所述晶圆贴片装置固定连接；所述第一顶压件远离所述第二顶压件的一侧连接有顶压控制装置，在所述顶压控制装置的驱动作用下，所述第一顶压件朝所述第二顶压件发生靠近运动，以将所述晶圆与所述基材相互贴合；其中所述顶压控制装置采用充气式控制；其中，所述顶压控制装置包括壳体以及杆体，所述壳体的上侧部设有进气孔，所述进气孔用于连接供气装置，所述壳体的下侧部设有出气孔，所述壳体的内部设有第一通道；所述杆体的一端上下滑动连接于所述第一通道中，所述杆体的另一端与所述第一顶压件固定连接；所述杆体的内部设有第二通道，所述进气孔、所述第一通道、所述第二通道以及所述出气孔依次连通；在所述供气装置的充气驱动下，所述杆体沿所述第一通道发生滑动运动；包括两个所述出气孔，两个所述出气孔对称设置在所述壳体的相对两侧；其中一所述出气孔连接调压装置，另一所述出气孔连接气压检测装置；所述气压检测装置与所述调压装置电性连接；所述出气孔位于靠近所述第二通道远离所述第一通道的端部位置；所述杆体的侧部设有限位槽，所述限位槽与所述第二通道相互连通；所述出气孔处密封连接有限位销，所述限位销的一端位于所述限位槽中，所述限位销的另一端连接有调压装置或所述气压检测装置，所述限位销的内部设有第三通道，所述第三通道的两端分别连通所述第二通道以及所述调压装置或所述气压检测装置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳源明杰科技股份有限公司 一种晶圆贴片机构以及晶圆贴片装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD