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申请/专利权人：山东东岳绿冷科技有限公司
申请日：2024-05-16
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118179255A
主分类号：B01D53/86
分类号：B01D53/86;C07C17/38;C07C17/383;C07C17/389;C07C17/395;C07C19/08;B01J23/83;B01J35/30;B01D53/70;B01D53/02;B01D53/00;B01J20/18;B01J20/30;B01D3/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明属于五氟乙烷纯化技术领域，具体涉及电子级五氟乙烷的纯化装置及采用其的纯化工艺。包括反应釜，五氟乙烷原料罐、氢气原料罐分别连接反应釜；冷凝器的出料管分两路连接中间罐和二氧化碳吸附器，冷凝器的不凝气排气口连接氢气分离器，氢气分离器顶部连接反应釜；二氧化碳吸附器连接氟碳吸附器，氟碳吸附器分两路连接1#成品罐和脱气塔的进料口；脱气塔的连接脱重精馏塔，脱重精馏塔经过冷却器后分两路连接2#成品罐和中间罐；中间罐连接冷凝器。本发明的纯化装置以及纯化工艺有效减少了工艺流程，提高了资源的利用率，产品五氟乙烷的纯度达到99.999%，符合半导体的使用要求。
主权项：1.一种电子级五氟乙烷的纯化装置，其特征在于，包括五氟乙烷原料罐（2），氢气原料罐（1）、反应釜（3）、冷凝器（4）、中间罐（5）、氢气分离器（6）、二氧化碳吸附器（7）、氟碳吸附器（8）、脱气塔（9）、脱重精馏塔（10）、冷却器（11）、1#成品罐（12）、2#成品罐（13），其中，五氟乙烷原料罐（2）、氢气原料罐（1）分别连接反应釜（3）的两个进料口；冷凝器（4）的出料管分为两路，一路连接中间罐（5）的进料口，另一路连接二氧化碳吸附器（7）的进料口，冷凝器（4）的不凝气排气口连接氢气分离器（6）的进料口，氢气分离器（6）顶部的出料管连接反应釜（3）的进料口；二氧化碳吸附器（7）的出料口连接氟碳吸附器（8）的进料口，氟碳吸附器（8）的出料管分为两路，一路连接1#成品罐（12）、另一路连接脱气塔（9）的进料口；脱气塔（9）的底部连接脱重精馏塔（10）的进料管，脱重精馏塔（10）出料管经过冷却器（11）后分为两路，一路连接2#成品罐（13），另一路连接中间罐（5）的进料口；中间罐（5）的出料管连接冷凝器（4）的进料口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东东岳绿冷科技有限公司 电子级五氟乙烷的纯化装置及采用其的纯化工艺
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