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申请/专利权人：苏州辰轩光电科技有限公司
摘要：本发明公开的一种单工位减薄机，包括减薄机构；减薄机构一侧设置有升降组件，升降组件用于控制减薄机构沿竖直方向升降；减薄机构一侧设置有取片组件，取片组件一侧设置有定心寻边组件，取片组件的一端设置有上料卡塞与下料卡塞；取片组件从上料卡塞内抓取晶圆放至定心寻边组件上进行定位；通过设置定心寻边组件将抓取的晶圆进行调整位置，从而使减薄机构精准的对晶圆的底面均匀减薄，提高减薄效果，此外，减薄完成后，通过气液清洗组件对晶圆进行清洗，然后通过甩干组件对晶圆甩干并存放在下料卡塞内，提高晶圆的收存干燥性。
主权项：1.一种单工位减薄机，包括：减薄机构；其特征在于，所述减薄机构一侧设置有升降组件，所述升降组件用于控制所述减薄机构沿竖直方向升降；所述减薄机构一侧设置有取片组件，所述取片组件一侧设置有定心寻边组件，所述取片组件的一端设置有上料卡塞与下料卡塞；所述取片组件从上料卡塞内抓取晶圆放至定心寻边组件上进行定位。
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权利要求：
百度查询： 苏州辰轩光电科技有限公司 一种单工位减薄机
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