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申请/专利权人：广东工业大学
申请日：2024-04-08
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118180635A
主分类号：B23K26/352
分类号：B23K26/352
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明公开了一种杂原子掺杂石墨烯薄膜的激光加工方法及杂原子掺杂石墨烯薄膜，涉及石墨烯薄膜技术领域。本发明的激光加工方法包括如下步骤：将双层复合薄膜固定在基板上，双层复合薄膜的上层为杂原子源材料层，下层为碳前驱体材料层；采用激光直写扫描在双层复合薄膜表面，杂原子源材料层对激光束波长的吸收率低于碳前驱体材料层对激光束波长的吸收率，得到杂原子掺杂石墨烯薄膜。本发明的激光加工方法工艺简单且效率高，能在短时间内实现碳前驱体材料表面的碳化和石墨化，并使杂原子源材料热解并掺杂进石墨烯层中，实现杂原子在石墨烯中的高效掺杂，解决了传统加工工艺上的加工复杂和效率低的问题。
主权项：1.一种杂原子掺杂石墨烯薄膜的激光加工方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将双层复合薄膜固定在基板上，双层复合薄膜的上层为杂原子源材料层，下层为碳前驱体材料层；S2、采用激光直写扫描在双层复合薄膜表面，杂原子源材料层对激光束波长的吸收率低于碳前驱体材料层对激光束波长的吸收率，使碳前驱体材料层的表面发生石墨化形成石墨烯层，杂原子源材料层发生热解，热解后的杂原子源材料掺杂进石墨烯层中，得到杂原子掺杂石墨烯薄膜；S3、将杂原子掺杂石墨烯薄膜从基板上剥离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东工业大学 一种杂原子掺杂石墨烯薄膜的激光加工方法及杂原子掺杂石墨烯薄膜
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