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申请/专利权人：细美事有限公司
申请日：2023-04-06
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118197973A
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677
优先权：["20221213 KR 10-2022-0173221"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：提供了一种支承单元。支承单元支承运输件，运输件包括第一储存器和第二储存器并且储存包括用于制造半导体器件的基板或耗材的物品，其中第一储存器具有形成在其底部的两个或更多个第一顶点，第二储存器具有形成在其底部但位于与第一顶点不同的位置处的第二顶点，支承单元包括：基部，形成底表面；第一块部，设置在基部上并包括第一防分离表面，第一顶点定位在第一防分离表面上，并且第一防分离表面面对或紧靠第一储存器的周向表面或角部；以及第二块部，设置在第一块部上并包括第二防分离表面，第二顶点定位在第二防分离表面上，并且第二防分离表面面对或紧靠第二储存器的周向表面或角部。
主权项：1.一种支承运输件的支承单元，所述运输件包括第一储存器和第二储存器并且储存包括用于制造半导体器件的基板或耗材的物品，其中所述第一储存器具有形成在其底部的两个或更多个第一顶点，所述第二储存器具有形成在其底部但位于与所述第一顶点不同的位置处的第二顶点，所述支承单元包括：基部，形成底表面；第一块部，设置在所述基部上并包括第一防分离表面，所述第一顶点定位在所述第一防分离表面上，并且所述第一防分离表面面对或紧靠所述第一储存器的周向表面或角部；以及第二块部，设置在所述第一块部上并包括第二防分离表面，所述第二顶点定位在所述第二防分离表面上，并且所述第二防分离表面面对或紧靠所述第二储存器的周向表面或角部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 支承单元、包括支承单元的线储存单元及运输系统
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