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申请/专利权人：住友重机械工业株式会社
摘要：本发明的课题在于抑制低温泵的再生中从低温泵排出的危险气体的浓度。低温泵再生方法包括如下步骤：在冷却运行中向低温泵10供给稀释气体；使稀释气体积蓄在低温泵10内的超低温面上；使被超低温面捕捉的其他气体与稀释气体一同再次气化；及从低温泵10排出再次气化的气体及稀释气体的混合气体。稀释气体可以为吹扫气体。
主权项：1.一种低温泵，其特征在于，具备：低温泵容器；低温板，配置于所述低温泵容器内；制冷机，设置于所述低温泵容器，并且与所述低温板热连接；主体吹扫阀，向所述低温泵容器供给吹扫气体；及再生控制器，其构成为，控制所述主体吹扫阀，以便在冷却所述低温板的所述制冷机的冷却运行中向所述低温泵容器供给吹扫气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友重机械工业株式会社 低温泵及低温泵再生方法
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