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申请/专利权人：天津大学
申请日：2024-05-20
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118197912A
主分类号：H01L21/28
分类号：H01L21/28;H01L29/43;H01L29/417;H01L29/16;H01L29/78;C01B32/05
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明提供了一种碳质电极的制备方法、碳质电极和石墨烯基场效应管，可以应用于微纳电子器件技术领域。该碳质电极的制备方法包括：根据待制备的碳质电极的目标厚度和目标导电参数，利用第一有机溶剂对光刻胶进行稀释，得到与碳质电极的目标厚度和目标导电参数对应的目标光刻胶，其中，第一有机溶剂包括有机醇类和二甲基亚砜中的至少一种；将目标光刻胶涂覆在第一基底表面；通过使用目标电子束对位于第一基底表面的目标光刻胶进行辐照，使位于第一基底表面的目标光刻胶由正性改性为负性，得到中间样品；对中间样品进行高温退火处理，得到具有目标厚度和目标导电参数的目标碳质电极。
主权项：1.一种碳质电极的制备方法，其特征在于，所述方法包括：根据待制备的碳质电极的目标厚度和目标导电参数，利用第一有机溶剂对光刻胶进行稀释，得到与所述碳质电极的目标厚度和目标导电参数对应的目标光刻胶，其中，所述第一有机溶剂包括有机醇类和二甲基亚砜中的至少一种；将所述目标光刻胶涂覆在第一基底表面；通过使用目标电子束对位于所述第一基底表面的目标光刻胶进行辐照，使位于所述第一基底表面的目标光刻胶由正性改性为负性，得到中间样品；对所述中间样品进行高温退火处理，得到具有所述目标厚度和所述目标导电参数的目标碳质电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 碳质电极的制备方法、碳质电极和石墨烯基场效应管
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