买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：上海微崇半导体设备有限公司

摘要：本发明涉及一种晶圆检测系统及检测方法，其中，晶圆检测系统包括载台、光源模块、光学检测模块及分束镜，利用分束镜将从待测样品上反射出的出射光分离出反射出射光和二次谐波信号，利用光学检测模块分别对反射出射光和二次谐波信号进行分析，以根据反射出射光获取待测样品的表面特性参数，并根据二次谐波信号获取待测样品的电学特性数据，从而可综合待测样品的表面特性参数和电学特性数据对晶圆进行更准确的测量。利用基于该晶圆检测系统的晶圆检测方法对晶圆进行检测，可有效简化检测繁琐度。本发明的晶圆检测系统及检测方法具有操作方便、检测效率高、适应性好的特点。

主权项：1.一种晶圆检测系统，其特征在于，包括：载台，包括可移动检测平面，所述可移动检测平面用于承载待测样品，并由所述可移动检测平面选择性地带动所述待测样品移动；光源模块，用于将光束引导至所述待测样品上，以生成出射光，所述出射光包括反射出射光和二次谐波信号；光学检测模块，用于对经所述待测样品生成的所述反射出射光和所述二次谐波信号分别进行分析，以根据所述反射出射光获取所述待测样品的表面特性参数，并根据所述二次谐波信号获取所述待测样品的电学特性数据；分束镜，设置在所述待测样品与所述光学检测模块之间的光路中，以接收所述出射光并用于从所述出射光分离出所述反射出射光和所述二次谐波信号，并将所述反射出射光和所述二次谐波信号分别引导至所述光学检测模块；所述光学检测模块包括：第一信号收集单元，用于对接收到的所述反射出射光进行传输及处理，以根据所述反射出射光获取所述待测样品的表面检测状态信号，所述第一信号收集单元包括检偏器，所述检偏器设置于所述反射出射光的光路上；所述光源模块包括激光器和偏振片，所述偏振片位于所述激光器与所述待测样品之间的入射光路中；或所述光源模块包括激光器和起偏器，所述起偏器至少包括可旋转的偏振片，所述起偏器设置在所述激光器与所述待测样品之间的入射光路中；检测过程中，当所述光源模块包括激光器和偏振片时，令所述检偏器绕所述反射出射光的光路转动；当所述光源模块包括激光器和起偏器时，令所述起偏器中的所述可旋转的偏振片绕所述入射光路转动，和或令所述检偏器绕所述反射出射光的光路转动；所述待测样品的表面特性参数至少包括待测样品的表面的薄膜厚度、折射率和消光系数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海微崇半导体设备有限公司 晶圆检测系统及检测方法