申请/专利权人：上海菲利华石创科技有限公司

申请日：2022-08-02

公开（公告）日：2024-06-14

公开（公告）号：CN115139210B

主分类号：B24B29/02

分类号：B24B29/02;B24B9/06;B24B41/00;B24B41/047;B24B41/06;B24B41/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.14#授权;2022.10.25#实质审查的生效;2022.10.04#公开

摘要：本发明属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种同步抛光装置。一种用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，包括一机座，机座上设置有：一抛光盘；一摆臂驱动机构，与抛光盘连接，带动抛光盘在水平方向万向移动；一转动盘机构，具有设置在机座之上的转动盘和设置在机座之下的主轴减速电机，主轴减速电机的电机轴连接转动盘，主轴减速电机带动转动盘转动；一固定器，可拆卸的设置在转动盘上，用于固定石英厚板。本发明可同时对具有凹槽的产品进行槽底与槽侧面同时抛光，提高抛光速度。

主权项：1.一种用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，包括一机座，其特征在于，所述机座上设置有：一抛光盘；一摆臂驱动机构，与所述抛光盘连接，带动所述抛光盘在水平方向万向移动；一转动盘机构，具有设置在机座之上的转动盘和设置在所述机座之下的主轴减速电机，所述主轴减速电机的电机轴连接所述转动盘，所述主轴减速电机带动所述转动盘转动；一固定器，可拆卸的设置在所述转动盘上，用于固定石英厚板；所述抛光盘为一弹性抛光盘，所述抛光盘包括：一抛光盘本体，圆柱形结构，从顶面向下挖设有一圈抛光盘容纳槽；一滑块，类圆环状结构，设置于所述抛光盘容纳槽内；若干弹簧杆，沿周向均匀设置在所述抛光盘本体内壁和所述滑块外壁之间，一端与所述抛光盘本体内壁连接，另一端与所述滑块外壁连接；一限位器，通过轴承设置于所述滑块内环内侧，通过所述限位器与所述摆臂驱动机构可拆卸连接；所述弹簧杆包括：一弹簧杆外套，内部中空，一端具有连接接头，另一端为敞开结构，内部设置有内螺纹；一弹簧圈，具有两个过渡接头，一个过渡接头设置有外螺纹，另一个过渡接头设置有内螺纹，两个所述过渡接头之间连接有弹簧，所述弹簧圈设置于所述弹簧杆外套内，一个所述过渡接头与所述弹簧杆外套螺纹连接；一弹簧杆内杆，一端具有连接接头，另一端设置有外螺纹并插入于所述弹簧杆外套内且与另一个所述过渡接头螺纹连接；所述弹簧杆外套的连接接头和所述弹簧杆内杆的连接接头中的一个所述连接接头可拆卸连接所述抛光盘本体内壁，另一个所述连接接头可拆卸连接所述滑块外壁；所述抛光盘还包括：一聚氨酯抛光皮，至少贴于所述抛光盘本体外壁上；所述摆臂驱动机构包括：一摆幅减速电机，设置于所述机座之下，具有轴向为竖向的电机轴；一第一摆动连接柱，一端穿过所述机座与所述摆幅减速电机的电机轴连接，另一端位于所述机座之上，顶面设置有摆动限位槽，所述摆动限位槽为径向设置的直槽；一第二摆动连接柱，底部设置有摆动限位块，所述摆动限位块设置在所述摆动限位槽内并可沿所述摆动限位槽滑动；一第一摆动连接杆，一端与所述第二摆动连接柱连接；一第二摆动连接杆，中部与所述第一摆动连接杆的另一端经万向节连接；一第三摆动连接柱，可转动的设置在所述机座上，与所述第二摆动连接杆的一端连接；一顶针，长度方向为竖向，可拆卸的固定在所述第二摆动连接杆的另一端，所述顶针的底部与所述抛光盘可拆卸连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海菲利华石创科技有限公司 用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置

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