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申请/专利权人：学校法人东海大学;株式会社新柯隆
摘要：在成膜室2a的内部至少设置蒸镀材料和基板S，通过排气和或提供不改变蒸镀材料的组成的气体，将所述成膜室2a的内部的包含所述基板S的第1区域A设定为0.05Pa～100Pa的气氛，将所述成膜室2a的内部的包含所述蒸镀材料的第2区域B设定为0.05Pa以下的气氛，在上述的状态下，通过真空蒸镀法，在第2区域B中使蒸镀材料蒸发，在第1区域A中将蒸发出的蒸镀材料成膜在被蒸镀物上。
主权项：1.一种成膜方法，在成膜室的内部至少设置蒸镀材料和被蒸镀物，通过排气和或提供不改变所述蒸镀材料的组成的气体，将所述成膜室的内部的包含所述被蒸镀物的第1区域的气氛压力设定为0.05Pa～100Pa，将所述成膜室的内部的包含所述蒸镀材料的第2区域的气氛压力设定为0.05Pa以下，其中，第1区域的气氛压力与第2区域的气氛压力不相等，在上述的状态下，通过真空蒸镀法，在所述第2区域中使所述蒸镀材料蒸发，在所述第1区域中将蒸发出的所述蒸镀材料成膜在所述被蒸镀物上，其中，形成折射率为1.38以下且铅笔硬度为2B以上的膜，所述蒸镀材料是SiO2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 学校法人东海大学 株式会社新柯隆 成膜方法和成膜装置
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