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申请/专利权人：杭州电子科技大学
摘要：本发明涉及微针的表面防护领域，为解决现有现有技术下微针表面涂层均匀性、稳定性较差，机械强度不高，对微针的防护效果较差的问题，公开了一种微针上稳定疏水耐磨涂层的制备方法，包括以下步骤：1）微针基底预处理；2）靶材预处理；3）磁控溅射过渡层；4）磁控溅射疏水涂层。本发明中涂层的致密性、均匀性好，不影响微针使用并且能有效提升微针表面的化学稳定性、机械强度以及疏水效果，减少生物黏附、污染，涂层与微针基底的结合力好，防护时间长，同时本发明的涂层方法对微针材质兼容性好，可以实现在柔性、刚性、有机、无机等各种微针衬底上涂层。
主权项：1.一种微针上稳定疏水耐磨涂层的制备方法，其特征是，包括以下步骤：1）微针基底预处理：对微针基底进行活化清洗；2）靶材预处理：通入惰性气体，将靶材预溅射一段时间；3）磁控溅射过渡层：将微针基底置于磁控溅射腔室的样品台上，通入惰性气体，将微针基底加热至40~50℃，向微针基底表面磁控溅射靶材；4）磁控溅射疏水涂层：通入惰性气体和氧气的混合气，将微针基底加热至50~60℃，继续向步骤2）所得的微针基底表面磁控溅射靶材；所述靶材为铈、钕、钐、钆、铒、镱和钇中的一种；所述步骤2）中惰性气体为氩气，氩气流量为10~20sccm，预溅射气压为0.1~0.3Pa，预溅射功率为1~3kW，预溅射温度为20~30℃，预溅射时间为10~15min；所述步骤3）中惰性气体为氩气，氩气流量为10~40sccm，溅射气压为0.10~0.50Pa，将微针基底加热至40~50℃，然后使样品台10~30转min的转速旋转并开启溅射，溅射偏压为-20~-100V，溅射功率为1~3kW，溅射时间为1~5min；所述步骤4）为通入氩气和氧气的混合气，混合气流量为20~50sccm，溅射气压为0.13~0.66Pa，将微针基底加热至50~60℃，然后使样品台10~30转min的转速旋转并开启溅射，溅射偏压为0~-200V，溅射功率为1~3kW，溅射时间为1~10min；所述步骤4）的氩气和氧气的混合气中，氧气的比例为3~50%；所述步骤3）及步骤4）中设置样品台倾斜角度为15~30°。
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