申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司

申请日：2019-11-12

公开（公告）日：2024-06-14

公开（公告）号：CN113302464B

主分类号：G01J3/453

分类号：G01J3/453;G01J3/02;G01J3/26;G01J3/32;G01J3/28

优先权：["20181119 DE 102018219778.4"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.14#授权;2021.09.10#实质审查的生效;2021.08.24#公开

摘要：本发明提供一种干涉仪装置（1），该干涉仪装置包括：第一镜装置（SP1）和第二镜装置（SP2），所述第一镜装置和所述第二镜装置以第一间距（d12）彼此被隔开，其中所述第一镜装置（SP1）和或所述第二镜装置（SP2）是能运动的，使得所述间距（d12）是可变的；基板（2），其中所述第一镜装置（SP1）和所述第二镜装置（SP2）叠置地布置在所述基板（2）的光学区域（OB）中，并且其中所述光学区域（OB）包括用于被所述第一镜装置（SP1）和所述第二镜装置（SP2）允许透过的电磁辐射（L）的第一辐射区域（AB1）和第二辐射区域（AB2），所述第一辐射区域和所述第二辐射区域侧向地并排延伸；滤波装置（F），该滤波装置布置在所述第二辐射区域（AB2）的光路中并且借助于该滤波装置能够确定用于所述电磁辐射（L）的波长的、依赖于第一间距（d12）的透过特征；以及探测器装置（3），该探测器装置具有布置在所述第一辐射区域（AB1）的光路中的第一探测器区域（D1）和布置在所述第二辐射区域（AB2）的光路中的第二探测器区域（D2），其中所述探测器装置（3）被设立用于在所述第一探测器区域（D1）中探测来自所述第一和第二镜装置（SP1、SP2）的第一电磁辐射并且在所述第二探测器区域（D2）中探测来自所述滤波装置（F）的第二电磁辐射（St2）。

主权项：1.干涉仪装置1，包括：-第一镜装置SP1和第二镜装置SP2，所述第一镜装置和所述第二镜装置以第一间距d12彼此被隔开，其中所述第一镜装置SP1和或所述第二镜装置SP2是能运动的，使得所述第一间距d12是可变的；-基板2，其中所述第一镜装置SP1和所述第二镜装置SP2叠置地布置在所述基板2的光学区域OB中，并且其中所述光学区域OB包括用于被所述第一镜装置SP1和第二镜装置SP2允许透过的电磁辐射L的第一辐射区域AB1和第二辐射区域AB2，所述第一辐射区域和所述第二辐射区域侧向地并排延伸；-滤波装置F，该滤波装置布置在所述第二辐射区域AB2的光路中，以用于从所述电磁辐射L的被允许透过的波长中再次滤除其它波长，并且借助于该滤波装置能够确定用于所述电磁辐射L的波长的、依赖于第一间距d12的透过特征；以及-探测器装置3，该探测器装置具有布置在所述第一辐射区域AB1的光路中的第一探测器区域D1和布置在所述第二辐射区域AB2的光路中的第二探测器区域D2，其中所述探测器装置3被设立用于在所述第一探测器区域D1中探测来自所述第一和第二镜装置SP1、SP2的在正常的干涉仪运行中被允许透过的第一电磁辐射并且在所述第二探测器区域D2中探测来自所述滤波装置F的第二电磁辐射St2，其中所述第一电磁辐射能够用于对入射到干涉仪装置上的辐射进行光谱分析，并且所述第二电磁辐射能够用于确定间距，其中所述第一辐射区域AB1包括被允许透过的电磁辐射L的主要部分，并且被允许透过的电磁辐射L的仅仅为了进行间距测量而必要的较小部分被辐射到所述第二辐射区域AB2中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 罗伯特·博世有限公司 干涉仪装置和用于确定干涉仪装置中的第一镜装置和第二镜装置之间的第一间距的方法

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