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申请/专利权人：同威信达技术(江苏)股份有限公司
摘要：本实用新型涉及直线型加速器技术领域，具体是一种直线加速器真空系统；该系统的电子枪与加速管的衔接处设置有第一高真空离子泵，加速管的下端连接一五通管道，五通管道的下端口通过真空插板阀连接扫描盒，五通管道的其余三端口分别连接两第二高真空离子泵与第一真空角阀；扫描盒上设置有两第三高真空离子泵，第三高真空离子泵的进气端与扫描盒相连通，扫描盒上还连接有第二真空角阀；本实用新型采用了新型的真空系统构成方案，可以更均匀的产生并维持真空，并可以在多点检测真空效果。通过真空插板阀的设置可以隔离两个分系统的真空，便于分别检测和运输；同时，通过多点安装真空角阀，可以外接高效能真空系统，提升系统抽真空的效率。
主权项：1.一种直线加速器真空系统，包括电子枪1、加速管2、扫描盒3，所述电子枪1安装于加速管2的上端，其特征在于，所述电子枪1与加速管2的衔接处设置有第一高真空离子泵4，所述加速管2的下端连接一五通管道10，所述五通管道10的下端口通过真空插板阀7连接扫描盒3，所述五通管道10的其余三端口分别连接两第二高真空离子泵5与一第一真空角阀6；所述扫描盒3上设置有两第三高真空离子泵8，所述第三高真空离子泵8的进气端与扫描盒3相连通，所述扫描盒3上还连接有一第二真空角阀9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 同威信达技术(江苏)股份有限公司 一种直线加速器真空系统
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