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一种水电镀阳极机构和水电镀装置 

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申请/专利权人:深圳市镭煜科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种水电镀阳极机构,包括若干不溶性阳极管,每两个所述不溶性阳极管为一组,分别设置于薄膜的上下两侧面;所述不溶性阳极管朝向薄膜的一侧设有孔洞,以使所述不溶性阳极管中的镀液通过所述孔洞喷淋薄膜的膜面;还涉及一种包含有该阳极机构的水电镀装置。本实用新型的水电镀装置的阳极机构采用不溶性阳极管,且不溶性阳极管开设有孔洞,以喷淋的方式向薄膜喷淋镀液,由于从不溶性阳极管中喷出的就是镀液,比传统的钛篮盛装铜球的方式,更能保证铜离子浓度的稳定;薄膜正反两面的不溶性阳极管一一对应,同时喷淋,能够保证薄膜同一位置两侧膜面受到的压力相近,避免薄膜变形,也保障了膜两侧镀层的均匀性与一致性。

主权项:1.一种水电镀阳极机构,其特征在于,包括若干不溶性阳极管,每两个所述不溶性阳极管为一组,分别设置于薄膜的上下两侧面;所述不溶性阳极管朝向薄膜的一侧设有孔洞,以使所述不溶性阳极管中的镀液通过所述孔洞喷淋薄膜的膜面。

全文数据:

权利要求:

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