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申请/专利权人：安迈特科技(北京)有限公司
摘要：本公开提供了一种蒸发舟及真空蒸发镀膜装置，蒸发舟用于真空蒸发镀膜，所述蒸发舟包括：蒸发舟本体，蒸发舟本体具有第一面，所述第一面开设有容置槽，容置槽配置为放置靶材，所述蒸发舟本体包括单质硼；含铝涂层，所述含铝涂层至少覆盖所述容置槽的表面。本公开通过提供掺杂硼单质的蒸发舟本体和含铝涂层的蒸发舟，在使用过程中，蒸发舟本体中的硼和铝会抑制氮化硼、氮化铝的分解，表面含铝涂层可进一步提升铝液的润湿性有利于热交换的进行，避免熔池受电流的影响而产生的波动。综上，本公开可降低使用时电阻的变化以及缓解电阻的分布不均的问题，便于工艺控制，同时减少导电相边缘堆积、放气、电流变化对熔池造成的波动影响，促使成膜更稳定。
主权项：1.一种蒸发舟，用于真空蒸发镀膜，其特征在于，包括：蒸发舟本体110，所述蒸发舟本体110具有第一面111，所述第一面111开设有容置槽113，所述容置槽113配置为放置靶材，所述蒸发舟本体110包括单质硼；含铝涂层120，所述含铝涂层120至少覆盖所述容置槽113的表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安迈特科技(北京)有限公司 一种蒸发舟及真空蒸发镀膜装置
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