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申请/专利权人：FEI公司
摘要：一种用于与科学仪器一起使用的激光设备。该激光设备包括激光发射器和控制系统。该激光发射器被配置为生成用于辐射设置在科学仪器的真空室中的样品的激光束。该控制系统被配置为从压力传感器接收与真空室相关联的压力信号，并且响应于压力达到阈值水平而改变激光束的状态。
主权项：1.一种用于与科学仪器一起使用的激光设备，所述激光设备包括：激光发射器，所述激光发射器被配置为生成用于辐射设置在所述科学仪器的真空室中的样品的激光束；和控制系统，所述控制系统被配置为从压力传感器接收与所述真空室相关联的压力信号，并且响应于压力达到阈值水平而改变所述激光束的状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 具有安全联锁的激光设备和与该激光设备一起使用的科学仪器
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