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申请/专利权人：华为技术有限公司
摘要：本申请提供一种有利于在抛光过程中降低工件内部的温度梯度从而降低工件的内部应力的激光抛光加工装置及激光抛光加工方法，装置包括激光器、光束调控模块、导轨位移模块、扫描模块及承载工件工作台。扫描模块装于导轨位移模块并被导轨位移模块驱动沿第一方向和或第二方向移动，扫描模块包括旋转反射镜和扫描透镜，旋转反射镜相较于导轨位移模块可转动设置。激光器发出的激光经过光束调控模块进入扫描模块，并被旋转反射镜反射后穿过扫描透镜对工件进行加工。旋转反射镜用于在转动时使从扫描模块出射的激光沿第三方向的移动速度大于或等于10ms。第一方向为扫描模块至工作台的所在方向，第二方向和第三方向不同且均垂直于第一方向。
主权项：1.一种激光抛光加工装置，其特征在于，包括：激光器；光束调控模块；导轨位移模块；扫描模块；以及工作台，用于承载工件；所述扫描模块安装于所述导轨位移模块并被所述导轨位移模块驱动沿第一方向及第二方向中的至少一个方向移动，所述扫描模块包括旋转反射镜和扫描透镜，所述旋转反射镜相较于所述导轨位移模块可转动设置；所述激光器发出的激光经过所述光束调控模块进入所述扫描模块，并被所述旋转反射镜反射后经过所述扫描透镜后出射对所述工作台上的工件进行加工；所述旋转反射镜用于在转动时使从所述扫描模块出射的激光沿第三方向的移动速度大于或等于10ms，所述第一方向为所述扫描透镜至所述工作台的所在方向，所述第二方向和所述第三方向不同且均垂直于所述第一方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 激光抛光加工装置以及激光抛光加工方法
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