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申请/专利权人：北京七星华创集成电路装备有限公司
摘要：本发明提供一种晶圆传输系统的夹持装置，多个夹持组件沿圆周方向间隔设置，以在多个夹持组件内侧形成晶圆容置空间；每个夹持组件中的第一夹持部和第二夹持部分别用于夹持工艺处理前和工艺处理后的晶圆；多个夹持组件中的转轴能够围绕各自轴线转动至第一位置、第二位置和第三位置；在转轴均转动至第一位置的情况下，至少一对相邻的夹持组件之间构成开口；在转轴均转动至第二位置的情况下，第一夹持部的凹槽能够夹持位于晶圆容置空间中的晶圆边缘；在转轴均转动至第三位置的情况下，第二夹持部的凹槽能够夹持位于晶圆容置空间中的晶圆边缘。本方案可以简化夹持装置的结构和夹持过程，而且可以避免工艺处理前后晶圆交叉污染。
主权项：1.一种晶圆传输系统的夹持装置，其特征在于，包括旋转支架和多个夹持组件，所述旋转支架用于与翻转装置连接，以在所述翻转装置的带动下转动，使晶圆在水平状态和垂直状态之间切换；多个所述夹持组件沿圆周方向间隔设置，以在多个所述夹持组件内侧形成晶圆容置空间；每个所述夹持组件均包括与所述旋转支架转动连接的转轴，和与所述转轴连接的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和所述第二夹持部均设置有用于夹持晶圆边缘的凹槽；所述第一夹持部和所述第二夹持部分别用于夹持工艺处理前和工艺处理后的晶圆；多个所述夹持组件中的所述转轴能够围绕各自轴线转动至第一位置、第二位置和第三位置；在多个所述夹持组件中的所述转轴均转动至所述第一位置的情况下，至少一对相邻的所述夹持组件之间构成开口，以供晶圆移入或移出所述晶圆容置空间；在多个所述夹持组件中的所述转轴均转动至所述第二位置的情况下，所述第一夹持部的所述凹槽能够夹持位于所述晶圆容置空间中的晶圆边缘；在多个所述夹持组件中的所述转轴均转动至所述第三位置的情况下，所述第二夹持部的所述凹槽能够夹持位于所述晶圆容置空间中的晶圆边缘。
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百度查询： 北京七星华创集成电路装备有限公司 晶圆传输系统的夹持装置及晶圆传输系统
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