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申请/专利权人：拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司
申请日：2024-04-09
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118208966A
主分类号：F27D21/00
分类号：F27D21/00;F27D1/18
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：本公开涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种炉门状态检测装置和炉门开合装置，解决了相关技术检测炉门闭合状态时操作繁杂和成本高的问题。炉门驱动装置包括相互连接的支撑组件和活动组件，支撑组件被配置为支撑活动组件，活动组件与炉门连接并驱动炉门开合。炉门状态检测装置包括：连通组件、至少两组导电组件和接收器组件，连通组件与炉门连接，并与活动组件可滑动连接，导电组件设置于活动组件，接收器组件设置于支撑组件。在炉门闭合炉口的情况下，连通组件与导电组件接触，且导电组件与接收器组件接触，以构成电流回路，以确定炉门处于闭合状态，该装置操作方便、成本低。
主权项：1.一种炉门状态检测装置，其特征在于，应用于炉门驱动装置，所述炉门驱动装置包括相互连接的支撑组件和活动组件，所述支撑组件被配置为支撑所述活动组件，所述活动组件与所述炉门连接并驱动所述炉门开合，以暴露炉体的炉口或闭合所述炉口，所述炉门状态检测装置被配置为确定所述炉门处于闭合状态或打开状态；其中，所述炉门状态检测装置包括：连通组件，与所述炉门连接，并与所述活动组件可滑动连接；至少两组导电组件，设置于所述活动组件，在所述连通组件相对于所述活动组件滑动的过程中，所述连通组件能够与所述导电组件接触或分离；接收器组件，设置于所述支撑组件，在所述活动组件滑动的过程中，所述接收器组件能够与所述导电组件接触或分离；其中，在所述炉门闭合所述炉口的情况下，所述连通组件与所述导电组件接触并电连接，且所述导电组件与所述接收器组件接触并电连接，其中，所述连通组件、一组所述导电组件、所述接收器组件和另一组所述导电组件构成电流回路，以确定所述炉门处于所述闭合状态；其中，在所述炉门暴露所述炉口的情况下，所述连通组件与所述导电组件分离，且所述导电组件与所述接收器组件分离，所述连通组件、一组所述导电组件、所述接收器组件和另一组所述导电组件不构成所述电流回路，以确定所述炉门处于所述打开状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司 炉门状态检测装置和炉门开合装置
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