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申请/专利权人：布鲁克斯自动化(德国)有限公司
申请日：2022-03-25
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118215885A
主分类号：G03F1/66
分类号：G03F1/66;G03F7/20;H01L21/673
优先权：["20211108 EP 21207018.9"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：一种储料器系统，用于存储多个掩膜版，特别是EUV掩膜版，该储料器系统包括多个存储舱110，每个存储舱适于将掩膜版中的一个保持在存储舱的内部并且适于竖直地一个堆叠在另一个之上以提供堆叠80，每个存储舱110包括具有入口210、出口220和第一开口230的通道211，相邻的通道211的入口和出口布置为使得提供延伸穿过堆叠80的过道90，吹扫气体能够被吹动穿过过道90，被吹动穿过过道90的吹扫气体能够通过相应的第一开口230进入每个存储舱110的内部110a。
主权项：1.一种储料器系统，用于存储多个掩膜版，特别是EUV掩膜版，所述储料器系统包括多个存储舱110，每个存储舱110适于将所述掩膜版中的一个保持在存储舱110的内部，并且适于竖直地一个堆叠在另一个之上以提供堆叠80，每个存储舱110包括具有入口210、出口220和第一开口230的通道211，其中相邻的通道211的入口和出口布置为提供延伸穿过堆叠80的过道90，吹扫气体能够通过过道90运输，并且通过过道90运输的吹扫气体能够通过相应的第一开口230进入每个存储舱110的内部110a。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 布鲁克斯自动化(德国)有限公司 储料器系统
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