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申请/专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
摘要：本公开涉及一种半导体设备加液防呆方法及其装置、设备、可读存储介质。该半导体设备加液防呆方法包括：获取原液桶至第一检测工位，识别原液桶上的原液标签并监测原液桶内的原液重量；获取待加液的目标工作液桶至第二检测工位，识别目标工作液桶上的工作液标签并监测目标工作液桶内的工作液重量；在工作液标签和原液标签识别一致时，将原液桶内目标重量的原液提供至目标工作液桶内；在工作液标签和原液标签识别不一致时，进行示警。本公开有利于避免半导体设备加液错误，从而提高产品良率并节约生产成本。
主权项：1.一种半导体设备加液防呆方法，其特征在于，包括：获取原液桶至第一检测工位，识别所述原液桶上的原液标签并监测所述原液桶内的原液重量；获取待加液的目标工作液桶至第二检测工位，识别所述目标工作液桶上的工作液标签并监测所述目标工作液桶内的工作液重量；在所述工作液标签和所述原液标签识别一致时，将所述原液桶内目标重量的所述原液提供至所述目标工作液桶内；在所述工作液标签和所述原液标签识别不一致时，进行示警。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 粤芯半导体技术股份有限公司 半导体设备加液防呆方法及其装置、设备、可读存储介质
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