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【发明授权】支撑管芯和包括横向移位的竖直互连的多个存储器管芯的接合组件及其制造方法_桑迪士克科技有限责任公司_201980079499.0 

申请/专利权人:桑迪士克科技有限责任公司

申请日:2019-12-03

公开(公告)日:2024-06-18

公开(公告)号:CN113196476B

主分类号:H10B80/00

分类号:H10B80/00;H10B43/27;H10B41/27;H10B41/35;H10B43/35

优先权:["20190228 US 16/288,656"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.18#授权;2021.08.17#实质审查的生效;2021.07.30#公开

摘要:本发明提供了一种接合组件,所述接合组件包括:第一存储器管芯,所述第一存储器管芯包括第一三维存储器器件;第二存储器管芯,所述第二存储器管芯包括第二三维存储器器件;以及支撑管芯,所述支撑管芯接合到所述第一存储器管芯并且包括外围电路,所述外围电路被配置为控制所述第一三维存储器器件和所述第二三维存储器器件。所述第一存储器管芯包括多行第一管芯近侧接合垫、多行第一管芯远侧接合垫和多个第一管芯横向移位导电路径,所述多个第一管芯横向移位导电路径连接所述第一管芯近侧接合垫中的相应第一管芯近侧接合垫和所述第一管芯远侧接合垫中的相应第一管芯远侧接合垫,所述相应第一管芯远侧接合垫与所述第一管芯近侧接合垫中的所述相应第一管芯近侧接合垫横向偏移。所述第一存储器管芯和所述第二存储器管芯可具有相同的布局,并且电连接可通过所述第一存储器管芯移位所述偏移距离。

主权项:1.一种接合组件,所述接合组件包括:第一存储器管芯,所述第一存储器管芯包括第一三维存储器器件;第二存储器管芯,所述第二存储器管芯包括第二三维存储器器件;和支撑管芯,所述支撑管芯接合到所述第一存储器管芯并且包括被配置为控制所述第一三维存储器器件和所述第二三维存储器器件的外围电路,并且包括多行支撑管芯接合垫,其中所述第一存储器管芯包括:多行第一管芯近侧接合垫,所述多行第一管芯近侧接合垫沿着第一方向延伸并且沿着第二方向间隔开,并且在第一接合界面平面处接合到所述支撑管芯;多行第一管芯远侧接合垫,所述多行第一管芯远侧接合垫沿着所述第一方向延伸并且沿着所述第二方向间隔开,并且在第二接合界面平面处接合到所述第二存储器管芯;和多个第一管芯横向移位导电路径,所述多个第一管芯横向移位导电路径连接所述第一管芯近侧接合垫中的相应第一管芯近侧接合垫和所述第一管芯远侧接合垫中的相应第一管芯远侧接合垫,所述相应第一管芯远侧接合垫沿着所述第二方向与所述第一管芯近侧接合垫中的所述相应第一管芯近侧接合垫横向偏移;并且其中:所述多行的所述第一管芯近侧接合垫沿着所述第二方向以均匀行间间距间隔开;所述多行的所述第一管芯远侧接合垫沿着所述第二方向以所述均匀行间间距间隔开;并且对于所述多个第一管芯横向移位导电路径中的每个第一管芯横向移位导电路径,所述第一管芯远侧接合垫中的所述相应第一管芯远侧接合垫沿着所述第二方向与所述第一管芯近侧接合垫中的所述相应第一管芯近侧接合垫横向偏移所述均匀行间间距或其整数倍。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 桑迪士克科技有限责任公司 支撑管芯和包括横向移位的竖直互连的多个存储器管芯的接合组件及其制造方法

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