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申请/专利权人：华海清科股份有限公司
申请日：2024-02-07
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN117718876B
主分类号：B24B37/005
分类号：B24B37/005;B24B53/017;B24B1/00;B24B37/30;H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权;2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开
摘要：本申请实施例提供了一种用于化学机械抛光的监测方法和化学机械抛光设备，其中方法包括：通过承载头加载待抛光的晶圆，将所述晶圆抵接于抛光盘上方的抛光垫，并通过供液装置朝向所述抛光垫与所述晶圆之间供给抛光液；通过修整器对抛光垫进行修整，并获取修整器的应变数据，其中，所述修整器包括传动臂和修整头，所述修整头在所述传动臂的支撑下对抛光垫进行修整，所述传动臂在所述修整头的作用力下产生应变，所述应变数据用于指示所述传动臂的应变量；根据所述应变数据确定修整偏差，所述修整偏差用于指示所述抛光垫的平整度；根据所述修整偏差确定所述抛光垫的磨损状态，对晶圆进行化学机械抛光。
主权项：1.一种化学机械抛光的监测方法，其特征在于，包括：通过承载头加载待抛光的晶圆，将所述晶圆抵接于抛光盘上方的抛光垫，并通过供液装置朝向所述抛光垫与所述晶圆之间供给抛光液；通过修整器对抛光垫进行修整，并获取修整器的应变数据，其中，所述修整器包括传动臂和修整头，所述修整头在所述传动臂的支撑下对抛光垫进行修整，所述传动臂在所述修整头的作用力下产生应变，所述应变数据用于指示所述传动臂的应变量，应变数据包括所述修整头对所述抛光垫进行修整过程中连续采集的所述传动臂的多个应变值；根据所述应变数据确定修整偏差，所述修整偏差用于指示所述抛光垫的平整度；根据所述修整偏差确定所述抛光垫的磨损状态，对晶圆进行化学机械抛光；若所述应变数据包括的至少一个应变值小于预警阈值，则确定所述抛光垫邻近使用寿命；所述预警阈值通过如下公式计算：ε_y=P-fL_maxk式中，ε_y用于表征所述预警阈值，P用于表征修整头对所述抛光垫进行修整过程中驱动机构输出的驱动力；fL_max用于表征在最大行程时所述修整盘受到的行程阻力，L_max用于表征所述修整盘的最大行程，k为所述应变值与所述修整盘作用于所述抛光垫的压力的相关系数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华海清科股份有限公司 用于化学机械抛光的监测方法和化学机械抛光设备
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