申请/专利权人：北京航空航天大学

申请日：2024-04-16

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN118050849B

主分类号：G02B6/12

分类号：G02B6/12;G02B6/125;G02B6/126;G01C19/64;G01C25/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.18#授权;2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开

摘要：本发明公开了基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法，属于光学器件集成领域，包括集成布置且依次经薄膜铌酸锂脊波导进行光级联的光源、起偏器、光分束器、调制器和探测器，薄膜铌酸锂脊波导包括铌酸锂波导层以及分别包覆于铌酸锂波导层上下两侧的SiO2上包层和SiO2下包层，铌酸锂波导层包括SOI晶圆基底层和铌酸锂薄膜。本发明采用上述基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法，混合集成了光源，起偏器、分束器、调制器和探测器，在保证原有分立器件性能的同时，实现了器件组合整体结构的小型化。

主权项：1.基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎，其特征在于：包括集成布置且依次经薄膜铌酸锂脊波导进行光级联的光源、起偏器、光分束器、调制器和探测器，薄膜铌酸锂脊波导包括铌酸锂波导层以及分别包覆于铌酸锂波导层上下两侧的SiO2上包层和SiO2下包层，铌酸锂波导层包括SOI晶圆基底层和铌酸锂薄膜；起偏器为单级结构或者多级级联结构；起偏器的输入模式为TE模式混合TM模式，输出模式为TE模式；起偏器包括上波导和下波导，上波导包括依次设置的第一输入直波导、中间弧形波导和输出波导，输出波导包括输入端与中间弧形波导连接的第一分支输出直波导、第二分支输出直波导和总输出直波导，第一分支输出直波导的输出端和第二分支输出直波导的输出端均与总输出直波导的输入端连接；下波导包括与第一输入直波导平行布置且用于耦合第一输入直波导中TM模式的第二输入直波导和用于将TM模式转化为TE模式并耦合至第二分支输出直波导的耦合波导；分束器包括与起偏器级联的输入端、与调制器级联的第一输出端和第二输出端以及与探测器级联的第三输出端，且第一输出端和第二输出端间距大于1.5μm；分束器为双Y分支分束器、1×2MMI级联分束器或定向分束器；1×2MMI级联分束器包括链接波导以及分别设置于链接波导两端的输入多模波导和输出多模波导，输入多模波导的长度为输出多模波导的两倍；链接波导与用于连接多模波导的薄膜铌酸锂脊波导关于多模波导的中心点对称布置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京航空航天大学 基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法

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