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打线失败检查系统、检测装置以及检测方法 

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申请/专利权人:株式会社新川

摘要:本发明提供一种打线失败检查系统、检测装置装置及检测装置方法。半导体装置10的打线失败检查系统100包括超声波振荡器40、超声波振子42、照相机45、显示器48以及控制部50,控制部50算出所拍摄的动态图像的一个帧与其以前的前帧的图像的差量,使差量超过规定的阈值的打线的图像显示与其他打线的图像显示不同并显示于显示器。

主权项:1.一种打线失败检查系统,为半导体装置的打线失败检查系统,所述半导体装置包括:基板;半导体元件,安装于所述基板;以及打线,将所述半导体元件的电极与所述基板的电极连接,或将所述半导体元件的一个电极与所述半导体元件的其他电极连接,所述打线失败检查系统的特征在于包括:超声波振荡器;超声波激振器,连接于所述超声波振荡器,通过来自所述超声波振荡器的电力对所述半导体装置进行超声波激振;照相机,拍摄所述半导体装置的动态图像;显示器,显示由所述照相机所拍摄的动态图像;以及控制部,调整所述超声波振荡器,并且对由所述照相机所拍摄的动态图像进行分析,所述控制部算出所拍摄的动态图像的一个帧与所述帧以前的前帧的图像的差量,使所述差量超过规定的阈值的所述打线的图像显示与其他所述打线的图像显示不同并显示于所述显示器。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社新川 打线失败检查系统、检测装置以及检测方法

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