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申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要：本申请实施例所公开的一种声波滤波器，包括多个谐振器，多个谐振器包括多个串联臂谐振器和多个并联臂谐振器，串联臂谐振器和所述并联臂谐振器之间的夹角在预设夹角区间内；每个谐振器包括：支撑衬底、压电薄膜和多个电极，压电薄膜设置在支撑衬底上，多个电极设置在压电薄膜上。基于本申请实施例通过将串联臂谐振器和并联臂谐振器之间的夹角设置在预设夹角区间内，可以抑制瑞利杂波，提高滤波器的综合性能。
主权项：1.一种声波滤波器，其特征在于，包括：多个谐振器，所述多个谐振器构包括多个串联臂谐振器和多个并联臂谐振器，所述串联臂谐振器和所述并联臂谐振器之间的夹角在预设夹角区间内，即串联臂谐振器和并联臂谐振器的面内放置方向存在一个夹角；每个所述谐振器包括：支撑衬底；压电薄膜，所述压电薄膜设置在所述支撑衬底上；多个电极，所述多个电极设置在所述压电薄膜上；所述预设夹角区间为[0°,15°]；所述压电薄膜的切型为X切型。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种声波滤波器
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