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申请/专利权人：普因特工程有限公司
摘要：本发明涉及一种对探针卡的探针接脚进行导引的探针卡用导板及其制造方法、以及具备其的探针卡，尤其，目的在于提供一种可容易地插入探针接脚，且可将供探针接脚插入的接脚插入孔精确地形成为小型的导板及其制造方法、以及确保探针卡的可靠性的探针卡。
主权项：1.一种探针卡用导板，其对探针卡的探针接脚进行导引，其特征在于，所述导板包括对金属进行阳极氧化后去除所述金属而形成的阳极氧化膜，形成贯通所述阳极氧化膜的上表面与下表面的多个接脚插入孔以插入所述探针接脚，以具有较进行所述阳极氧化时形成的气孔的宽度更宽的宽度的方式对所述阳极氧化膜进行蚀刻而形成所述多个接脚插入孔，所述探针卡用导板通过积层多个所述阳极氧化膜而形成，积层的多个所述阳极氧化膜的接脚插入孔在垂直方向上不偏移且具有垂直于积层的多个所述阳极氧化膜的上表面或下表面的形状。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 普因特工程有限公司 探针卡用导板及其制造方法、以及具备其的探针卡
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