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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日：2023-09-27
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221175236U
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本申请提供一种光阻控温装置及光刻机台，所述光阻控温装置包括：控温管路，部分所述控温管路套设于光阻管路外壁，所述控温管路被配置为控制所述光阻管路中的温度处于温度阈值范围内；至少一个压强传感器，设置于所述控温管路上，所述至少一个压强传感器被配置为实时检测所述控温管路中的压强；副泵，设置于所述控温管路上，与所述至少一个压强传感器通讯连接，所述副泵被配置为当所述至少一个压强传感器中的任意一个检测到的压强小于压强阈值时启动使所述控温管路中处于负压状态。本申请提供一种光阻控温装置及光刻机台，能够在控温管路发生漏水时及时报警，减少损失。
主权项：1.一种光阻控温装置，其特征在于，包括：控温管路，部分所述控温管路套设于光阻管路外壁，所述控温管路被配置为控制所述光阻管路中的温度处于温度阈值范围内；至少一个压强传感器，设置于所述控温管路上，所述至少一个压强传感器被配置为实时检测所述控温管路中的压强；副泵，设置于所述控温管路上，与所述至少一个压强传感器通讯连接，所述副泵被配置为当所述至少一个压强传感器中的任意一个检测到的压强小于压强阈值时启动使所述控温管路中处于负压状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种光阻控温装置及光刻机台
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