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申请/专利权人：苏州光舵微纳科技股份有限公司
申请日：2023-10-17
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221175235U
主分类号：G03F7/00
分类号：G03F7/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本实用新型公开一种纳米压印用柔性模板的张力调整装置，张力调整装置包括：用于承载柔性模板的下承载环以及能够垂直运动的上压环；上压环上设有顶撑部，其与下承载环相互配合，用于调整柔性模板的张力。本实用新型能够解决现有纳米压印时柔性模板的搬运时位移、形变不可控难题，能够弱化柔性模板下垂自身重量引起的下垂形变，调整柔性模板张力，确保柔性模板的图纹形变量一致，保证套印精度。
主权项：1.纳米压印用柔性模板的张力调整装置，其特征在于，包括：用于承载柔性模板的下承载环以及能够垂直运动的上压环；所述上压环上设有顶撑部，其与下承载环相互配合，用于调整柔性模板的张力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州光舵微纳科技股份有限公司 纳米压印用柔性模板的张力调整装置
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