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申请/专利权人：苏州黑河电子科技有限公司
申请日：2023-12-04
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221173338U
主分类号：G01B21/08
分类号：G01B21/08;B25B11/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本实用新型涉及自动量测机技术领域，且公开了一种高精度半导体载板3D自动量测机，包括量测底座、第一卡板和衔接块，所述量测底座的上方含有放置板，所述放置板的一侧紧贴第一支撑板，所述第一支撑板内含有滑块，所述滑块滑动连接滑杆，所述伸缩弹簧的一端通过粘接的形式连接压块，所述第一卡板的一侧紧贴第二卡板，所述保护壳内含有传动齿轮，所述传动齿轮与齿板啮合。该高精度半导体载板3D自动量测机，通过设置第一卡板与压块，能够有效的对量测物件进行限位固定，首先将半导体载板板放置在第一卡板上，提高了放置板升降移动的稳定性，使检测头能够精准的对半导体载板板进行量测工作，加强了使用的灵活性，以及提高了量测数据的准确性。
主权项：1.一种高精度半导体载板3D自动量测机，包括量测底座1、第一卡板201和衔接块9，其特征在于：所述量测底座1的上方含有放置板2，所述放置板2的一侧紧贴第一支撑板202，所述第一支撑板202内含有滑块305，所述滑块305滑动连接滑杆11，所述量测底座1的上方含有保护壳206，所述保护壳206的一侧紧贴第二支撑板10，所述第二支撑板10上含有所述衔接块9，所述衔接块9滑动连接所述第二支撑板10的内壁，所述放置板2的上方含有所述第一卡板201，所述第一卡板201内含有延伸板块302，所述延伸板块302上含有驱动圆杆301，所述驱动圆杆301滑动连接所述第一卡板201的内壁，所述延伸板块302内含有伸缩弹簧303，所述伸缩弹簧303的一端通过粘接的形式连接压块304，所述第一卡板201的一侧紧贴第二卡板203，所述保护壳206内含有传动齿轮5，所述传动齿轮5与齿板7啮合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州黑河电子科技有限公司 一种高精度半导体载板3D自动量测机
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