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申请/专利权人：日本电子株式会社
申请日：2023-12-25
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263075A
主分类号：H01J37/305
分类号：H01J37/305
优先权：["20221226 JP 2022-208823"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：提供能够容易地制造遮蔽板的遮蔽板制造装置。遮蔽板制造装置100是用于制造以遮蔽板将试样的一部分遮蔽并对试样照射带电粒子束来加工试样的试样加工装置的遮蔽板的遮蔽板制造装置，包含：基板保持轴件10，其可旋转地保持基板2，将带4卷取到基板2；以及张力赋予机构50，其对被卷取到基板2的带4赋予张力。
主权项：1.一种遮蔽板制造装置，是用于制造以遮蔽板将试样的一部分遮蔽并对所述试样照射带电粒子束来加工所述试样的试样加工装置的所述遮蔽板的遮蔽板制造装置，其特征在于，包含：基板保持轴件，其可旋转地保持基板，将带卷取到所述基板；以及张力赋予机构，其对被卷取到所述基板的所述带赋予张力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本电子株式会社 遮蔽板制造装置和遮蔽板的制造方法
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