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申请/专利权人：细美事有限公司
申请日：2023-12-14
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263180A
主分类号：H01L21/683
分类号：H01L21/683;H01J37/20;H01J37/32;C04B35/10;C04B35/565;C04B35/581;C04B38/00;C04B35/622
优先权：["20221228 KR 10-2022-0187727"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本公开提供了一种制造基座的方法。该方法包括：制备分别包括气体通道的静电卡盘ESC和底板；制备设置在ESC中的气体通道与底板中的气体通道之间的衬套‑过滤器组件；以及将ESC以这样的方式联接到底板，即，衬套‑过滤器组件的一部分容纳在形成于ESC的表面中的第一容纳部中，并且衬套‑过滤器组件的剩余部分至少部分地容纳在形成于底板的表面中的第二容纳部中。
主权项：1.一种制造基座的方法，所述方法包括：制备分别包括气体通道的静电卡盘ESC和底板；制备设置在所述ESC中的气体通道与所述底板中的气体通道之间的衬套-过滤器组件；以及将所述ESC以这样的方式联接到所述底板，即，所述衬套-过滤器组件的一部分容纳在形成于所述ESC的表面中的第一容纳部中，并且所述衬套-过滤器组件的剩余部分至少部分地容纳在形成于所述底板的表面中的第二容纳部中，其中，制备所述衬套-过滤器组件包括：制备用于形成多孔过滤器的过滤器预制件；制备衬套预制件，所述衬套预制件包括能够容纳所述过滤器预制件的过滤器容纳部；以及通过将所述过滤器预制件容纳在所述衬套预制件的所述过滤器容纳部中并进行共烧结来形成其中过滤器在所述过滤器容纳部中烧结结合到衬套的、作为一体化的烧结体的所述衬套-过滤器组件。
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