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申请/专利权人：罗提株式会社
申请日：2019-03-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN113574695B
主分类号：H10K71/16
分类号：H10K71/16;H10K71/00;H10K50/11
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2021.11.16#实质审查的生效;2021.11.16#专利申请权的转移;2021.10.29#公开
摘要：本发明公开一种照明用有机发光元件（organiclightemitteddiode，OLED）制造装置及制造方法。本制造装置具备：多个滚轧件，其横向移动沿着宽度方向的两端形成有隔着一定间距的孔（hole）的带状基材，并沿着所述基材的移动方向，隔着一定间距配置；以及蒸镀部，其随着所述基材的移动，从蒸镀源朝着所述基材的一面喷射出气化材料，依次实施蒸镀，此时，各滚轧件的一面形成有多个突出件，其随着滚轧件的转动，插入形成于基材两端的孔里并被解除插入，从而移动所述基材。
主权项：1.一种制造装置，其特征在于：用于制造照明用有机发光元件organiclightemitteddiode，OLED的制造装置中，具备：多个滚轧件，其横向移动沿着宽度方向的两端形成有隔着一定间距的孔hole的带状基材，并沿着所述基材的移动方向，隔着一定间距配置；以及蒸镀部，其随着所述基材的移动，从蒸镀源朝着所述基材的一面喷射出气化材料，依次实施蒸镀，各滚轧件的一面形成有多个突出件，其随着所述滚轧件的转动，插入形成于所述基材的两端的孔里并被解除插入，从而移动所述基材，所述蒸镀部还包括：防护shield件，其隔着一定空间配置在所述基材的上方，所述制造装置还包括：控制部，其用于控制所述防护件和所述基材流动相反方向的电流，所述控制部调整所述电流的强度，以使所述防护件和所述基材具备预设其间空间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗提株式会社 照明用有机发光元件制造方法及其制造装置
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