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申请/专利权人：四川启睿克科技有限公司;四川长虹电子控股集团有限公司
摘要：本实用新型阵列式光谱MEMS可调法珀腔芯片波长标定装置，涉及光谱芯片标定技术领域，通过在光谱MEMS可调法珀腔芯片供电端串联可调电阻实现一种简便的电压调节方式，同时采用电压表对芯片两端电压进行实时读取，获取该光谱MEMS芯片在既定波长时两端的电压情况，以阵列的方式排列，形成阵列芯片，同时对阵列芯片中的所有光谱MEMS可调法珀腔芯片进行波长标定，解决了现有光谱MEMS可调法珀腔芯片波长标定效率低的问题。
主权项：1.阵列式光谱MEMS可调法珀腔芯片波长标定装置，其特征在于，包括近红外光源1、阵列芯片2、供电电源3、光电探测器4和显示器5；所述供电电源3分别与红外光源1、阵列芯片2、光电探测器4和显示器5相连；所述近红外光源1用于发出近红外光6；所述阵列芯片2用于对近红外光6窄带滤波；所述光电探测器4用于将窄带滤波后的近红外光7转换为电信号，所述显示器5用于对电信号进行光谱绘图并显示；所述阵列芯片2包括至少一个待测芯片模块20，所述待测芯片模块20包括光谱MEMS可调法珀腔芯片21、可调电阻22和电压表23；所述可调电阻22的一端作为待测芯片模块20的电源接入正极，与供电电源3的正极相连，可调电阻22的另一端与光谱MEMS可调法珀腔芯片21的正极相连，光谱MEMS可调法珀腔芯片21的负极作为待测芯片模块20的电源接入负极，与供电电源3的负极相连；所述电压表23用于检测光谱MEMS可调法珀腔芯片21的电压。
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