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【实用新型】线光谱共焦测量装置_苏州精创光学仪器有限公司_202322787249.9 

申请/专利权人:苏州精创光学仪器有限公司

申请日:2023-10-18

公开(公告)日:2024-06-18

公开(公告)号:CN221173297U

主分类号:G01B11/24

分类号:G01B11/24;G02B13/22;G01B11/25

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.18#授权

摘要:本实用新型提供了一种线光谱共焦测量装置,其包括沿光路依次设置的线光源单元、分光棱镜、成像机构及光谱仪,所述线光源单元用于产生线光斑,所述成像机构包括色散镜头及用于承载样品的可移动平台,所述色散镜头包括沿物方至像方依次排列的第一镜组、第二镜组和第三镜组,通过设置第一镜组用于对进入其中的光进行一次色散,并使光路达到物方远心,进而通过第二镜组用于对进入其中的光进行二次色散,并对球差及彗差进行校正,进一步通过第三镜组对进入其中的光进行三次色散,并对高阶像差进行校正,同时保持像方远心光路,镜头成像效果好;另外,通过线光斑与可移动平台的配合,有效提高了对样品的测量效率。

主权项:1.一种线光谱共焦测量装置,其特征在于:包括沿光路依次设置的线光源单元、分光棱镜、成像机构及光谱仪,所述线光源单元用于产生线光斑,所述成像机构包括色散镜头及用于承载样品的可移动平台,所述色散镜头包括沿物方至像方依次排列的第一镜组、第二镜组和第三镜组,所述第一镜组的焦距为30mm-31mm,所述第二镜组的焦距为230mm-360mm,所述第三镜组的焦距为43mm-45mm,所述第一镜组与第二镜组之间的距离为0.1mm-0.2mm,所述第二镜组与第三镜组之间的距离为43mm-44mm。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州精创光学仪器有限公司 线光谱共焦测量装置

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