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申请/专利权人：浙江景昇薄膜科技有限公司
摘要：本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了一种管路结构和真空设备。管路结构包括内管、进气管和外管。内管内设有内腔，内管上设有多个通气孔，进气管连通于内腔，并设有多个进气口，外管套设于内管外侧，内管和外管之间形成缓冲腔，内腔通过通气孔连通于缓冲腔，外管设有多个出气孔，缓冲腔通过出气孔连通于外部。真空设备包括供气装置和上述管路结构。通过上述设置，本申请的管路结构能够平衡出气孔处的气压和流量，改善气体混合效果。
主权项：1.管路结构，其特征在于，包括：内管1，所述内管1内设有内腔11，所述内管1上设有多个通气孔12；进气管2，连通于所述内腔11，并设有多个进气口21；外管3，套设于所述内管1外侧，所述内管1和所述外管3之间形成缓冲腔31，所述内腔11通过所述通气孔12连通于所述缓冲腔31，所述外管3设有多个出气孔32，所述缓冲腔31通过所述出气孔32连通于外部。
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百度查询： 浙江景昇薄膜科技有限公司 管路结构及真空设备
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