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申请/专利权人：华中科技大学
申请日：2024-02-29
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118225800A
主分类号：G01N21/95
分类号：G01N21/95
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本申请属于光学检测技术领域，具体公开了一种基于远场衍射差分光强不对称的光刻缺陷检测方法，包括以下步骤：获取待测光刻样品的近场电场分布并输入至光场传播模型，获得对应含缺陷的远场衍射光强分布函数；将含缺陷的远场衍射光强与不含缺陷的参考衍射光强做差分处理，获得远场衍射差分光强；对远场衍射差分光强进行象限灵敏度响应分析，计算远场衍射差分光强的不对称性；重复前述步骤，获取整个待测光刻样品的衍射差分的不对称信息；对远场衍射差分光强的左右差分信号和上下差分信号进行阈值分析，以判定该照明区域内是否存在缺陷。通过本申请能有效检测出照明探针扫描区域是否存在缺陷并确定缺陷坐标。
主权项：1.一种基于远场衍射差分光强不对称的光刻缺陷检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：S1获取待测光刻样品的近场电场分布，并将其输入至光场传播模型，获得对应含缺陷的远场衍射光强分布函数；S2将含缺陷的远场衍射光强与不含缺陷的参考衍射光强做差分处理，获得远场衍射差分光强；S3对所述远场衍射差分光强进行象限灵敏度响应分析，计算衍射差分光强的不对称性；S4重复执行步骤S1-S3，直至所述待测光刻样品上的所有扫描点被照明探针扫描，得到整个待测光刻样品的衍射差分的不对称信息；S5基于所有衍射差分的不对称信息，对所述远场衍射差分光强的左右差分信号和上下差分信号进行阈值分析，当所述远场衍射差分光强的不对称性差分信号大于预设阈值时，判定照明探针内存在缺陷，否则，判定该照明区域内无缺陷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 一种基于远场衍射差分光强不对称的光刻缺陷检测方法
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