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申请/专利权人：电子科技大学
申请日：2024-04-03
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118225702A
主分类号：G01N21/17
分类号：G01N21/17;G01N21/03
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明属于环境气体检测领域，具体提供一种小型化非谐振式光声CO2传感器及检测方法，用以解决传统CO2气体传感器体积较大、成本高、不利于日常使用等问题。本发明利用smd封装的MEMS红外光源和非谐振式光声池结构，实现了传感器体积的大幅缩小，器件整体尺寸仅为10mm×7mm×7mm。器件能够在提供较低的工作电压和调制频率下即可得到准确的气体浓度检测数据，不仅可以降低传感器的功耗，还有着较高的准确度。综上，本发明具有显著的体积优势、响应速度快、重复性好、成本低、灵敏度高等优点，非常适合日常生活的各种使用环境中。
主权项：1.一种小型化非谐振式光声CO2传感器，包括：控制模块、激励模块、非谐振式光声池2和声波检测模块；所述控制模块包括：函数发生器和MOS开关控制电路，所述激励模块包括：MEMS红外光源4和滤光片3，所述声波检测模块包括：MEMS麦克风5和锁相放大器，所述滤光片设置于MEMS红外光源上，所述MEMS红外光源和麦克风均置于非谐振光声池内且位于底部位置。一种小型化非谐振式光声CO2传感器，所述非谐振式光声池2顶部中心开有一透气孔，所述透气孔上覆盖防水透气膜1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 电子科技大学 小型化非谐振式光声CO2传感器及检测方法
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