申请/专利权人:上海电气集团股份有限公司
申请日:2024-03-18
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN118231696A
主分类号:H01M8/0228
分类号:H01M8/0228
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.21#公开
摘要:本发明公开了一种含有碳基涂层的极板及其制备方法,其制备方法在真空腔室中进行,包括以下步骤:S1.等离子清洗:使用氩离子和氢离子轰击极板表面,去除极板表面的脏污和氧化层;S2.沉积钛打底层:在所述极板表面溅射沉积钛打底层;S3.沉积碳基涂层:在氩离子和氢离子的轰击下,在所述钛打底层的表面沉积碳基涂层,所述碳基涂层中sp2与sp3的比例为2‑2.4:1。本发明的含有碳基涂层的极板的碳基涂层中碳原子sp2键和sp3键的构成比例适当,导电性好,涂层稳定性佳,且耐腐蚀。
主权项:1.一种含有碳基涂层的极板的制备方法,其特征在于,其包括以下步骤:S1.等离子清洗:使用氩离子和氢离子轰击极板表面,去除极板表面的脏污和氧化层;S2.沉积钛打底层:在所述极板表面溅射沉积钛打底层;S3.沉积碳基涂层:在氩离子和氢离子的轰击下,在所述钛打底层的表面沉积碳基涂层,所述碳基涂层中sp2与sp3的比例为2-2.4:1。
全文数据:
权利要求:
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