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申请/专利权人：株式会社村田制作所
申请日：2020-06-03
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN112054780B
主分类号：H03H9/17
分类号：H03H9/17;H03H9/54
优先权：["20190606 JP 2019-106106"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2020.12.25#实质审查的生效;2020.12.08#公开
摘要：提供能抑制通带外的杂散的弹性波装置。弹性波装置1具备高声速支承基板3、设置在高声速支承基板3上的低声速膜4、设置在低声速膜4上的压电体层5和设置在压电体层5上的IDT电极6。在高声速支承基板3传播的体波的声速比在压电体层5传播的弹性波的声速高。在低声速膜4传播的体波的声速比在压电体层5传播的体波的声速低。低声速膜4具有第1部分A和位于比第1部分A更靠高声速支承基板3侧的第2部分B。第1部分A及第2部分B由同种材料构成。在将低声速膜4的第1部分A处的密度设为ρ1，将第2部分B处的密度设为ρ2时，密度ρ1和密度ρ2不同。
主权项：1.一种弹性波装置，具备：高声速支承基板；低声速膜，设置在所述高声速支承基板上；压电体层，设置在所述低声速膜上；和IDT电极，设置在所述压电体层上，在所述高声速支承基板传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高，在所述低声速膜传播的体波的声速比在所述压电体层传播的体波的声速低，所述低声速膜具有第1部分、和位于比所述第1部分更靠所述高声速支承基板侧的第2部分，所述第1部分以及所述第2部分由同种材料构成，在将所述低声速膜的所述第1部分处的密度设为ρ1，将所述第2部分处的密度设为ρ2时，所述密度ρ1和所述密度ρ2不同。
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