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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十六研究所
摘要：本发明公开了一种HVPE法生长氮化铝的辅助加热体装置及方法。该装置的上加热体设有氨气接入口和氯化铝接入口，并分别与氯化铝气体管路、氨气气体管路螺纹连接；氨气接入口和氯化铝接入口贯通辅助加热体装置上加热体；下加热体设有回型沟槽，回型沟槽中设有若干个圆形孔洞作为出气口，圆形孔洞贯穿至下加热体下表面；上加热体的氨气接入口和氯化铝接入口的下端分别与下加热体设有的回型沟槽连通；上加热体与下加热体通过螺纹连接。采用本辅助加热装置，有效减少了外延衬底上多晶掉落的概率；有效降低出气管口多晶沉积量，减少生长过程中的多晶掉落，提高生长过程中炉内环境的稳定性，实现HVPE‑AlN外延层的长时间稳定生长。
主权项：1.一种HVPE法生长氮化铝的辅助加热体装置，其特征在于，所述辅助加热体装置（1）由上加热体（1-1）和下加热体（1-2）组合而成，上加热体（1-1）设有氨气接入口（9）和氯化铝接入口（10），并分别与氯化铝气体管路（2）、氨气气体管路（3）螺纹连接；氨气接入口（9）和氯化铝接入口（10）贯通辅助加热体装置的加热体（1-1）；所述下加热体（1-2）设有回型沟槽（12），回型沟槽（12）中设有若干个圆形孔洞（13）作为出气口，圆形孔洞（13）贯穿至下加热体（1-2）下表面；上加热体（1-1）的氨气接入口（9）和氯化铝接入口（10）的下端分别与下加热体（1-2）设有的回型沟槽（12）连通；上加热体（1-1）设有外螺纹（11），下加热体（1-2）设有内螺纹（14），上加热体（1-1）与下加热体（1-2）通过螺纹连接；所述辅助加热体装置（1）上表面通过螺纹固定在氯化铝气体管路（2）和氨气气体管路（3）上，悬挂于衬底（4）上方，辅助加热体装置（1）下表面与衬底（4）间距为15cm；衬底（4）位于加热基台（5）上，通过调节加热基台（5）的高低位置，来控制辅助加热体装置（1）下表面与衬底（4）的间距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种HVPE法生长氮化铝的辅助加热体装置及方法
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