龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：杭州众能光电科技有限公司
申请日：2023-09-28
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221201093U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/324
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了一种气氛退火加热机构，包括位于腔体周向实现四周加热的周向加热机构，所述腔体内设置有位于周向加热机构内的基片，所述腔体的底部设置有从下侧对基片进行加热的下加热机构，且腔体的上侧连接有腔盖，所述腔盖内设置有从上侧对基片进行加热的上加热机构。这里通过侧加热机构、下加热机构以及上加热机构，实现对基片外侧整体加热，无遗漏，从而保证加热均匀，避免局部温度过高或者过低的现象发生，保证加热效果。基片的周围设置有侧加热板，下侧设置有下加热板，上侧设置有加热盘管，从而实现了上下以及周向封闭式加热，加热面更全，加热更均匀，避免局部温度过高或者过低，提高加热效果。
主权项：1.一种气氛退火加热机构，其特征在于：包括位于腔体（1）周向实现四周加热的周向加热机构，所述腔体（1）内设置有位于周向加热机构内的基片（2），所述腔体（1）的底部设置有从下侧对基片（2）进行加热的下加热机构，且腔体（1）的上侧连接有腔盖（3），所述腔盖（3）内设置有从上侧对基片（2）进行加热的上加热机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州众能光电科技有限公司 一种气氛退火加热机构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号