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申请/专利权人：杭州众能光电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种气氛退火加热机构，包括位于腔体周向实现四周加热的周向加热机构，所述腔体内设置有位于周向加热机构内的基片，所述腔体的底部设置有从下侧对基片进行加热的下加热机构，且腔体的上侧连接有腔盖，所述腔盖内设置有从上侧对基片进行加热的上加热机构。这里通过侧加热机构、下加热机构以及上加热机构，实现对基片外侧整体加热，无遗漏，从而保证加热均匀，避免局部温度过高或者过低的现象发生，保证加热效果。基片的周围设置有侧加热板，下侧设置有下加热板，上侧设置有加热盘管，从而实现了上下以及周向封闭式加热，加热面更全，加热更均匀，避免局部温度过高或者过低，提高加热效果。
主权项：1.一种气氛退火加热机构，其特征在于：包括位于腔体（1）周向实现四周加热的周向加热机构，所述腔体（1）内设置有位于周向加热机构内的基片（2），所述腔体（1）的底部设置有从下侧对基片（2）进行加热的下加热机构，且腔体（1）的上侧连接有腔盖（3），所述腔盖（3）内设置有从上侧对基片（2）进行加热的上加热机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州众能光电科技有限公司 一种气氛退火加热机构
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