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申请/专利权人：上海大尘微影半导体科技有限公司
申请日：2023-12-13
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221198833U
主分类号：G01M3/26
分类号：G01M3/26
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型属于零部件捡漏技术领域，具体公开了一种零部件批量自动检漏装置，包括第一测试平台、第二测试平台、第三测试平台、第四测试平台、氦气储存装置、真空泵和检漏仪，所述氦气储存装置上设有连接通道和第三主通道，真空泵上设置有第一主通道，第一主通道靠近真空泵的位置设有第二主通道，第一主通道上均匀设置有四个与第一测试平台、第二测试平台、第三测试平台、第四测试平台连接的第一气路通道，第二主通道上设置有三个与第一测试平台、第二测试平台、第三测试平台连接的第二气路通道，并且第三主通道上设置有三个与第一测试平台、第二测试平台、第三测试平台连接的第三气路通道，并且第三主通道端部设置有氦气喷枪。
主权项：1.一种零部件批量自动检漏装置，其特征在于：包括第一测试平台1、第二测试平台2、第三测试平台3、第四测试平台4、氦气储存装置5、真空泵6和检漏仪18，所述氦气储存装置5上设置有连接通道7和第三主通道10，连接通道7与真空泵6连接，真空泵6上设置有第一主通道8，第一主通道8靠近真空泵6的位置设有第二主通道9，第一主通道8上均匀设置有四个与第一测试平台1、第二测试平台2、第三测试平台3、第四测试平台4连接的第一气路通道11，并且第一主通道8中间设置有与检漏仪18连接的支路17，第二主通道9上设置有三个与第一测试平台1、第二测试平台2、第三测试平台3连接的第二气路通道12，并且第三主通道10上设置有三个与第一测试平台1、第二测试平台2、第三测试平台3连接的第三气路通道13，并且第三主通道10端部设置有氦气喷枪14，氦气喷枪14设置在第四测试平台4上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大尘微影半导体科技有限公司 一种零部件批量自动检漏装置
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