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申请/专利权人：朗姆研究公司
申请日：2017-07-24
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248615A
主分类号：H01L21/687
分类号：H01L21/687;H01L21/683;H01L21/67;H01J37/32
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：一种边缘环被配置为在衬底处理系统中经由一个或多个升降销相对于衬底支撑件升高和降低。所述边缘环还被配置为在所述边缘环的调整过程中与从衬底支撑件的底部环和或中部环向上延伸的引导特征对接。所述边缘环包括：上表面；环形内径；环形外径；下表面；以及环形凹槽，所述环形凹槽被布置在所述边缘环的所述下表面中，以与所述引导特征对接。所述环形凹槽的壁是基本竖直的。
主权项：1.一种衬底处理系统中的边缘环，所述边缘环被配置成通过一个或多个升降销来升高和降低，并通过气锁来去除，所述边缘环包括：上表面；环形内径；环形外径；以及下表面，其中，所述边缘环的所述上表面包括在所述环形内径处的台阶，其中，所述边缘环的、在所述上表面和所述环形外径之间的界面处的外侧上部拐角被倒角，其中，被倒角的外侧上部拐角被配置为便于通过所述气锁来移除所述边缘环，并且其中，所述边缘环的、在所述下表面和所述环形内径之间的界面处的内侧下部拐角被倒角。
全文数据：
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