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申请/专利权人：天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司
申请日：2024-04-28
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118243619A
主分类号：G01N21/01
分类号：G01N21/01;G01N21/84
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明提供了一种移动式浓度检测装置，涉及半导体清洗装置技术领域，包括移动主体，移动主体上至少设置浓度计主机，浓度计主机上连接光纤管，光纤管的端部设置浓度计取样头，浓度计取样头连接药液槽上的浓度取样管，光纤管的外侧套设主防护结构，光纤管的两端由主防护结构的两端伸出，光纤管与主防护结构之间通过防护接头连接，防护接头与光纤管之间至少设置第一防护层和第二防护层，第一防护层位于第二防护层与光纤管之间，本发明的有益效果是在满足浓度检测装置可移动的前提下，避免光纤管损坏。
主权项：1.一种移动式浓度检测装置，其特征在于：包括移动主体，所述移动主体上至少设置浓度计主机，所述浓度计主机上连接光纤管，所述光纤管的端部设置浓度计取样头，所述浓度计取样头连接药液槽上的浓度取样管，其中：所述光纤管的外侧套设主防护结构，所述光纤管的两端由所述主防护结构的两端伸出，所述光纤管与所述主防护结构之间通过防护接头连接，所述防护接头与所述光纤管之间至少设置第一防护层和第二防护层，所述第一防护层位于所述第二防护层与所述光纤管之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司 一种移动式浓度检测装置
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