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申请/专利权人：中用科技有限公司

摘要：本发明涉及气体检测技术领域，公开了一种半导体AMC动态含量检测系统及方法。本方法通过：在AMC动态含量监测区域内设置监测点并安装AMC动态含量检测设备的方式洁净室内的AMC动态含量进行检测；同时基于安装AMC动态含量检测设备对AMC动态含量的检测建立电流信号与AMC含量之间的关系模型，通过调整AMC动态含量检测设备将被测AMC中的各类成分分离出来，同时通过建立样本集比对的方式确定被测AMC中的各类成分，通过聚类算法对半导体洁净室内各个监测点的检测结果进行聚类，并输出聚类结果，将聚类结果与设置的AMC中各类气态分子污染物的含量阈值进行对比，实现对AMC动态含量的检测，提高了检测的实时性和准确性。

主权项：1.一种AMC动态含量检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、设定AMC动态含量监测区域，并在设定的AMC动态含量监测区域内设置n个监测点；S2、在每个监测点上安装AMC动态含量检测设备，实时监测当前监测点周围的AMC含量大小，并通过监测AMC动态含量检测设备中电流变化情况建立电流信号与AMC含量的关系模型，监测出AMC中各类气态分子污染物的含量；所述AMC动态含量检测设备包括光离子化检测器以及电流检测设备；S3、建立各种单一污染物气体的AMC对照样本集，保证每一个AMC对照样本中仅存在一类污染物气体，并通过AMC动态含量检测设备对各类单一污染物气体进行检测，将在同等环境下的检测结果与监测出AMC中各类气态分子污染物进行对比，确定AMC中各类气态分子污染物的类型；S4、确定AMC中各类气态分子污染物的类型后，收集各个监测点周围监测的多组确定各类气态分子污染物的类型的AMC构建样本集，并通过聚类算法对样本集中各监测点的检测结果进行聚类，并输出聚类结果，聚类结果包括各个样本中AMC中各类气体污染物类型以及含量；S5、实时采集各个监测点的AMC中各类气态分子污染物的含量并确定各类气态分子污染物的种类，并将实时采集的各个监测点的AMC加入至样本集中，进行聚类迭代；并设定AMC中各类气态分子污染物的含量阈值，通过遍历每个簇的核心点以及边界点中的各类气态分子污染物的含量变化情况，判断环境状况。

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